霧是指光學零件的拋光面上，呈現出"露水"似的物質，這些物質有的是油質點子構成的，稱為油性霧，有的是由水珠或水與玻璃起化學反應形成堆積物構成的，稱為水性霧：有的光學零件上，兩種霧都有，叫做水油混合霧，一般的都以"露水"狀或干的堆積物存在于玻璃表面上。油性霧通常分布在元形光學零件的邊緣，并向中央伸延，有的則沿擦拭痕跡分布，油性霧的形成主要是油脂污染了玻璃表面，或是由于油脂的擴散，揮發在玻璃表面凝結而造成的，比如擦拭光學零件所用的輔料含脂量高，或者所用的工具帶有油脂，用手指直接拿取和觸及光學零件等，都會引起油性霧，或者是光學儀器上所用油脂的化學穩定性不好，產生擴散或使用方法不當涂油過多，油脂擴散到光學零件上而引起油性霧，或者是由于儀表油脂揮發性很大，會產生油質蒸氣而形成油性霧，還有的是用汽油清洗金工零件時，沒有讓汽油充分發揮干凈，就涂油裝配。還有的用汽油稀釋放塵脂涂在鏡身內，隨著時間的增長和溫度的變化，這些汽油及所含的其它成份，逐漸揮發至光學零件上而形成油性霧。
　　水性霧是由于潮濕空氣在溫度變化下而形成，主要分布在零件的全面積上，產生原因主要是潮濕氣體所致，但與儀器密封性能、光學玻璃的化學穩定性，以及玻璃表面的清潔程度有關，在較高的相對濕度下，霉菌易生長，有些霉菌生長狀大后，便在菌絲體周圍產生分泌物，這些分泌物有的是液狀的，在液狀分泌物外圍便形成水性霧。不管何種原因形成的霧，由于霧滴以曲率半徑極小的球形分布于光學零件表面上、使入射光線產生散射現象，除了降低儀器的有效透光率外，并使成象質量差影響觀測。有的光學零件因長期起霧，被腐蝕的玻璃表面形成很多微孔，嚴重的會使玻璃零件報廢。光學儀器起霧不僅在我國東南地區嚴重存在，就是較干燥的地區，由于溫差變化，也會起霧，它比光學儀器生霉的影響范圍更大，而且更難防止。
　　B1、使用防霧材料防止儀器生霧
　　光學儀器的防霧材料，要求具有良好的防霧效果，又要不影響玻璃的光學性能，使用如下的憎水膜材料，可以起到很好的防霧作用。
　　B2、使用防霧劑
　　采用乙基含氫二氯硅烷處理鍍化學雙透膜和不鍍膜的光學玻璃零件，可以形成較牢固的膜層，具有憎水性能，有的防水霧性能，成膜容易，同時涂在光學零件表面，能改善玻璃的機械性能，在一定程度上保護玻璃表面不易擦傷，提高了光學玻璃表面的化學穩定性，利用它來清潔玻璃，去污能力較強，很容易去掉手指印，口水圈，提高了工效，這是一種很好的防霧劑。使用時用無水yi醚配成乙基含氫二氯硅烷濃度為0.25%-1%(重量%比)使用，在室溫下很快成膜并固化，采用氣相法，蘸擦法，浸泡法，清洗法均可。使用方便，而且不需要增加設備。但要注意乙基含氫二氯硅烷由于帶有刺激氣味，配制時勿觸及皮膚與衣服，使用時宜用棉球或海棉蘸擦，不要觸及金屬，若用于不鍍膜和無刻線的光學零件，其使用濃度可提高到4%，由于乙基含氫二氯硅烷遇水或吸潮后冒煙起腐蝕作用，故應密封保管，嚴防對玻璃與金屬的腐蝕，配制溶液時要現配現用。磷酸鹽玻璃不宜此種方法處理。還可采用防霉防霧劑，對硝基苯氧基乙基含氫氯硅烷，它為一種棕色液體，容易水解，將此藥品用yi醚配成5%左右濃度溶液，用離心、浸泡、擦拭方法均可成膜。除此之外，采用乙基含氫硅油和十二烷基*氧基硅烷防霧劑都能有效地起到防霧作用。
　　B3、用真空鍍膜方法，鍍聚全氟乙丙烯，這是一種惰性氟塑料，化學穩定性高，且具有耐熱、耐寒、耐腐蝕性，與玻璃和金屬都有較強的結合力，具有的防霉防霧性能。不僅能在一般玻璃表面化學鍍膜，氟化膜層形成保護膜，而且可以在磷酸鹽玻璃表面成膜，磷酸鹽玻璃化學穩定性很差，很容易生霉起霧，而且用一般的化學鍍膜方法涂鍍硅烷、硅油、硅氟材料等，都不能形成牢固的保護膜，真空鍍膜方法，先在磷酸鹽玻璃表面鍍氟化鎂，而后再鍍聚金氟乙丙烯，對磷酸鹽玻璃有良好的防霉防霧效果，多倍儀的綠色濾片，大部分是磷酸鹽玻璃，用這種方法處理的濾光片，防霉防霧效果。
　　B4、采用非硫化硅橡膠密封膩子防霧
　　光學儀器密封性好，對于防霉防霧都有重要作用，非硫化硅橡膠密封膩，是一種非硫化醚硅橡膠，加入填充劑、著色劑、結構控制劑所組成，其密封膩高、低溫性能顯著優于原來的密封蠟，其他指標均不低于密封蠟。